本实验室具备英福康、阿尔卡特氦质谱检漏仪，并具备整机检漏台，可进行喷氦法、真空室法等多种氦质谱检漏测试。
序号
名称
型号
试验内容
设备指标
1
氦质谱检漏仪
UL1000
氦质谱检漏
最小可检漏率：5×10-13Pa·m3/s
2
ASM122D
最小可检漏率：1×10-12Pa·m3/s
3
变温漏率检测设备
非标
整机氦气泄漏率检测
可检最小漏率：1×10-12Pa·m3/s
真空腔有效尺寸：Ф600×700mm；
温度范围：-100℃~200℃
